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概述
模块化气体系统 (Integrated Gas System) 是一种半导体行业用于气体控制的设备。随着半导体制程工艺越来越 ，对气体控制设备的要求也越来越高。
FITOK 模块化气体系统采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，进行模块化设计，在缩小设备体积的同时，安装和维护反而变得更简单。
单流路系统
特征
◆模块化设计——缩短设计时间
根据客户 PID 图，用标准的基块、阀门（隔膜阀、单向阀、减压阀）、流量计、过滤器、压力传感器等元件，在面板上采用搭积木的方式即可完成设计。
◆表面安装——易于安装和维修
所有元件均采用符合 SEMI 标准表面安装方式（1.125"W型/C型密封、1.5”W型/C型密封），用简单的工具即可完成安装和后期的维修。
◆小型化
体积约为传统面板的 1/3，相应的流道尺寸也缩小，对沾污控制更有利。
◆316LVV材料、电解抛光工艺和轨道焊
接液部件均采用 316LVV 二次熔炼奥氏体不锈钢，流道均经过电解抛光（Ra0.13），接头处均采用轨道焊。
◆W 型/C型密封
元件与基块之间的密封均采用 W 型密封（W-seal）或者C型密封（C-seal）,都为金属硬密封，密封部位和受力部位是分离的，能够达到 的密封效果。
9流路模块化气体系统
订购说明
FITOK 可根据客户 PID 图设计和供货模块化气体系统，其中过滤器、压力传感器和流量控制器可由客户提供或 FITOK 按客户提供品牌采购。
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